研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐野弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346712
公開番号（公開出願番号）：特開平10-166257
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】研磨対象物の研磨体に対する当たりを全面に渡って均一にすることができる研磨装置を提供する。【解決手段】「研磨対象物」としてのウエハ25をホルダー24に吸引・押圧装置26,27,28により吸着した状態で搬送して、ウエハ25を研磨パッド23に押圧させると共に、この両者の間に研磨剤を介在させて相対移動させることにより、ウエハ25を研磨する研磨装置21において、吸引・押圧装置26,27,28は、ホルダー24内に形成される通気路26a,27a,28aと、通気路26a,27a,28aを介して流体を吸引してウエハ25をホルダー24の吸着面に吸着する吸引手段、及び、前記通気路26a,27a,28aを介して流体を供給してウエハ25を研磨パッド23に押圧する圧力供給手段とが設けられて構成され、この吸引・押圧装置26,27,28が複数設けられ、この各装置26,27,28によるウエハ25の各部位の押圧力を、それぞれ独立して制御可能とした。

請求項（抜粋）：

研磨対象物をホルダーに吸引・押圧手段により吸着した状態で搬送して、該研磨対象物を研磨体に前記吸引・押圧手段により押圧させると共に、この両者の間に研磨剤を介在させて相対移動させることにより、該研磨対象物を研磨する研磨装置において、前記吸引・押圧手段は、前記ホルダー内に形成される通気路と、該ホルダーの前記研磨対象物の吸着面に配置される前記通気路の開口部と、該通気路を介して流体を吸引して前記研磨対象物を前記ホルダーの吸着面に吸着する吸引手段、及び、前記通気路を介して流体を供給して前記研磨対象物を前記研磨体に押圧する圧力供給手段とが設けられて構成され、該吸引・押圧手段が複数設けられ、該各吸引・押圧手段による前記研磨対象物の各部位の押圧力を、それぞれ独立して制御可能としたことを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-086995 出願人：新日本製鐵株式会社, ニッテツ電子株式会社
研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-240350 出願人：株式会社日立製作所

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