特許

J-GLOBAL ID：200903047281957181

インプリントモールド製造方法

発明者： 吉井 崇 ,  相馬 宗尚
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242180
公開番号（公開出願番号）：特開2009-072956
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】複数の段差を備えたインプリントモールドの製造に好適なインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のインプリントモールド製造方法は、エッチングマスクとして用いたパターニングされた感光性樹脂に新たなパターンを再度パターニングし、再度エッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、感光性樹脂に対して複数回のパターニングを行うことにより、段差形状になった基板に再度感光性樹脂を塗布することなく、複数の段差構造を備えたインプリントモールドを製造することが出来る。このため、不均一な感光性樹脂の塗布に由来する構造パターンの形状不良を防止することが出来、精度良く微細な3次元構造パターンを形成することが可能となる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板に感光性樹脂を塗布する工程と、 前記感光性樹脂を露光光を用いてパターニングする工程と、 パターニングされた前記感光性樹脂をエッチングマスクとして基板にエッチングを行う工程と、 前記感光性樹脂に露光光を用いて新たなパターンをパターニングする工程と、 再度、パターニングされた前記感光性樹脂をエッチングマスクとして基板にエッチングを行う工程と、 を備えたことを特徴とするインプリントモールド製造方法。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B81C 5/00 ,  B29C 33/38

FI (4件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C33/38

Fターム (34件)：

3C081AA19 ,  3C081CA14 ,  3C081CA31 ,  3C081CA37 ,  3C081DA06 ,  3C081DA21 ,  3C081DA43 ,  4F202AG05 ,  4F202AH36 ,  4F202AH37 ,  4F202AH38 ,  4F202AH63 ,  4F202AH73 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CD24 ,  4F202CD30 ,  4F202CK11 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  5F046AA28 ,  5F046BA10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レジスト組成物及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-149744   出願人：日本電信電話株式会社
• フラーレン誘導体およびフラーレン複合化レジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-286011   出願人：日本電信電話株式会社