フラーレン誘導体およびフラーレン複合化レジスト

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286011
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053832
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】溶媒への溶解性が高く、特に、レジスト組成物の溶解に通常使用されている溶媒への溶解性が高いフラーレン誘導体を提供する。【解決手段】一般式(1)で表されることを特徴とするフラーレン誘導体。ここで、一般式(1)中、Fは、C30+2m (式中、m=3〜20)で表されるフラーレン基であり、R1、R2は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アリール基置換アルキル基、アルキル基置換アリール基のいずれかである。nは1〜8の整数である。【化1】【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表されることを特徴とするフラーレン誘導体。ここで、一般式(1)中、 Fは、C30+2m (式中、m=3〜20)で表されるフラーレン基であり、 R1、R2は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アリール基置換アルキル基、アルキル基置換アリール基のいずれかである。なお、アルキル基、アリール基、アリール基置換アルキル基、アルキル基置換アリール基の水素原子は、R3基、COOR3基、OCOR3基、CONR3R4基、NR3R4基、NO2基、CN基、F基、Cl基、Br基で置換されていてもよい(ただし、R3、R4は、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アリール基置換アルキル基、アルキル基置換アリール基のいずれかである。また、R3基以外はR3が水素であってもよいし、R4が水素であってもよい)。また、アルキル基を構成する-CH2-は、-CH=CH-、-O-、-CO-、-COO-、-NH-、-CONH-に置換されていてもよい。 nは1〜8の整数である。

IPC (4件)：

C07C13/64 , C07C39/23 , C07C211/53 , G03F7/004

FI (4件)：

C07C13/64 , C07C39/23 , C07C211/53 , G03F7/004 501

Fターム (11件)：

2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB92 , 4H006FC56 , 4H006FE13

引用特許：

出願人引用 (1件)

レジスト組成物及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-149744 出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (6件)

フラーレン誘導体とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-282457 出願人：日本電信電話株式会社
フラーレン誘導体およびそれの重合体
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-115128 出願人：ヘキストインダストリー株式会社
フレレン誘導体、それらの調製方法及びそれらの使用
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245976 出願人：ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト

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引用文献：

審査官引用 (5件)

Thin Solid Films,(2002),403-404,p.297-301
Chemical Physics Letters,(1999),312(5,6),p.469-74
Chemical Abstracts,vol.129,abs.no.37326

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