特許

J-GLOBAL ID：200903047308120220

感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

発明者： 富川 真佐夫 ,  吉田 智之 ,  三浦 康男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-004120
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202489
出願日： 1998年01月12日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】アルカリ水溶液で現像可能な、膜厚が厚くなっても、感度の優れたポジ型の感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を得る。【解決手段】 (a)一般式(1)で表されるポリマーと、(b)紫外線かつ/または放射線によりルイス酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2以上30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3は酸の存在下解離して水酸基となる1価の有機基であり、炭素数3から20までのアルコキシカルボニル基、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表されるポリマーと、(b)紫外線かつ/または放射線によりルイス酸を発生する化合物とを含有することを特徴とする感光性耐熱性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中、R1は炭素数2以上30までの2価の有機基、R2は炭素数6から40までの3価から6価の有機基、R3は酸の存在下解離して水酸基となる1価の有機基であり、炭素数2から20までのアルコキシカルボニル基、nは10から100000までの整数、pは1から4までの整数である。)

IPC (5件)：

G03F 7/039 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/075 511

FI (5件)：

G03F 7/039 ,  C08L 79/08 A ,  C09D179/08 A ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/075 511

引用特許：

審査官引用 (4件)

• パターン形成用感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-023585   出願人：株式会社巴川製紙所
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165320   出願人：住友ベークライト株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-165321   出願人：住友ベークライト株式会社
• 特開平4-031860