特許
J-GLOBAL ID：200903047317737809
塩化第二鉄エッチング液の管理方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 二郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225581
公開番号（公開出願番号）：特開2000-054167
出願日： 1998年08月10日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：
【要約】【構成】 塩化第二鉄エッチング溶液による銅その他の金属のエッチング処理において、エッチング過程において生じる塩化第一鉄および塩化第一銅をエッチング過程中において適時塩化第二鉄および塩化第二銅に酸化してエッチング液のエッチング能力を常に一定のレベルに維持するようにする。酸化手段として隔膜電解法を用いた再生装置、又は酸化剤として過酸化水素等を注入する再生装置およびスプレー方式を採り入れた気体酸化装置等が用いられる。【作用および効果】 塩化第二鉄エッチング溶液のエッチング能力が常時所定レベルに維持され、かつエッチング液の再生使用によって使用時間が長くなるのでその使用量および廃液の排出量が減少し、省資源および環境保護に寄与する。
請求項（抜粋）：
塩化第二鉄溶液による銅のエッチングにおいてエッチングによって生じる塩化第一鉄および塩化第一銅を酸化してエッチング液を再生することを特徴とする塩化第二鉄エッチング液の管理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (3件)：
4K057WB04
, 4K057WE08
, 4K057WM19
