特許

J-GLOBAL ID：200903047352094341

石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法

発明者： 菊池 俊之 ,  小畑 直之 ,  小野寺 友紀 ,  濱野 力 ,  山口 博 ,  鹿島 一日兒
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (2件)： 波多野 久 ,  関口 俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-068635
公開番号（公開出願番号）：特開2004-155642
出願日： 2003年03月13日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】3員環強度の高い内表面特性を有し液面振動の発生を抑制できる石英ガラスルツボ及び石英ガラスルツボの製造方法を提供するものである。【解決手段】石英ガラスルツボ1の内表面2の表層0.5mmの範囲における3員環強度が0.25以上である石英ガラスルツボ。また、その製造方法である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

石英ガラスルツボの内表面の表層0.5mmの範囲における3員環強度が0.25以上であることを特徴とする石英ガラスルツボ。

IPC (3件)：

C03B20/00 ,  C30B13/14 ,  C30B29/06

FI (5件)：

C03B20/00 H ,  C03B20/00 F ,  C03B20/00 G ,  C30B13/14 ,  C30B29/06 502B

Fターム (6件)：

4G014AH00 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077EG18 ,  4G077PD02 ,  4G077PD05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 石英るつぼ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-201173   出願人：住友金属工業株式会社
• 石英ガラスルツボおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-154295   出願人：東芝セラミックス株式会社
• シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ 及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-243021   出願人：信越石英株式会社