特許
J-GLOBAL ID：200903020621539414

シリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ 及びその製造方法

発明者：
佐藤 龍弘

佐藤 龍弘 について

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渡辺 博行

渡辺 博行 について

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岩谷 富士雄

岩谷 富士雄 について


出願人/特許権者：
信越石英株式会社

信越石英株式会社 について


代理人 (1件)： 石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-243021
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072594
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：
【要約】【課題】濡れ性を石英ガラスるつぼ内表面に作り出すことによって、この石英ガラスるつぼを用いてシリコン単結晶を引き上げる際にシリコンメルト液面の湯面振動を抑制することができるようにしたシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ及びその製造方法を提供する。【解決手段】半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、該石英ガラスるつぼの内表面の表面張力が、50mN/m以下であるようにした。
請求項（抜粋）：
半透明石英ガラス層のるつぼ基体と、該るつぼ基体の内壁面に形成された透明石英ガラス層からなるシリコン単結晶引き上げ用石英ガラスるつぼであり、該石英ガラスるつぼの内表面の表面張力が、50mN/m以下であることを特徴とするシリコン単結晶引き上げ用大口径石英ガラスるつぼ。
IPC (2件)：
C30B 29/06 502 ,  C30B 15/10
FI (2件)：
C30B 29/06 502 B ,  C30B 15/10
Fターム (6件)：
4G050FD01 ,  4G050FD05 ,  4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF00 ,  4G077EG02
引用特許：
審査官引用 (8件)
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