特許
J-GLOBAL ID:200903047405154589

整準方法及び整準装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 祥二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-043835
公開番号(公開出願番号):特開2007-225307
出願日: 2006年02月21日
公開日(公表日): 2007年09月06日
要約:
【課題】 整準作業での傾斜センサの水平検出の収斂時間を短縮し、迅速な整準を可能とする。 【解決手段】 傾斜センサが設けられた装置本体に於いて、前記傾斜センサの応答遅れを予め求め、前記傾斜センサが0点を検出する様に第1方向に前記装置本体を傾斜させ、0点が検出された後、更に0点が検出される様に前記第1方向と逆の第2方向に傾斜させ、両0が検出される間の時間を求め、該時間と前記応答遅れを基に前記第2方向から更に第1方向に傾斜させる駆動時間を算出し、該駆動時間で前記装置本体を傾斜させ、傾斜後傾斜状態を所定時間維持した後、前記傾斜センサの検出結果を基に整準を行い収斂させる。 【選択図】 図1
請求項(抜粋):
傾斜センサが設けられた装置本体に於いて、前記傾斜センサの応答遅れを予め求め、前記傾斜センサが0点を検出する様に第1方向に前記装置本体を傾斜させ、0点が検出された後、更に0点が検出される様に前記第1方向と逆の第2方向に傾斜させ、両0が検出される間の時間を求め、該時間と前記応答遅れを基に前記第2方向から更に第1方向に傾斜させる駆動時間を算出し、該駆動時間で前記装置本体を傾斜させ、傾斜後傾斜状態を所定時間維持した後、前記傾斜センサの検出結果を基に整準を行い収斂させることを特徴とする整準方法。
IPC (1件):
G01C 15/00
FI (1件):
G01C15/00 105S
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 傾斜制御装置と、傾斜制御方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-365705   出願人:株式会社トプコン
  • 水平面設定機
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2003-097053   出願人:株式会社ソキア
  • 自動整準装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-237885   出願人:株式会社ニコン

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