平面度測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：天田昌行 , 西山善章 , 水野浩司 , 青木宏義 , 岡田喜雅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-330245
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145156
出願日： 2006年12月07日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：

【課題】必要な平面度測定精度を得ることができると共に分解及び組立てが容易でしかも可搬性に優れた平面度測定装置を実現すること。【解決手段】架台1に対して円盤面に対する垂線を水平方向に向けて主円盤3を取り付け、主円盤3に径方向及び回転方向に調節可能な吸着アーム4が取り付けられている。吸着アーム4の表面には吸着アーム4に対して主円盤3の径方向へ相対移動可能に測定半径設定板5が取り付けられる。吸着アーム4の一端部にはレーザ変位計の測定ヘッド6が取り付けられ、測定ヘッド6は信号ケーブル6aを介してレーザ変位計の表示部7に接続される。また、真空引き用チューブ8の先端部が円盤支持部材2の後端部から内部を通して吸着アーム4の表面側に引き出されて吸着アーム4の側面に形成された吸引口25、26に連結される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

架台と、この架台に対して円盤面に対する垂線を水平方向に向けて取り付けられた主円盤と、前記主円盤の測定対象物側の平面中心から突出した支持軸と、アーム長手方向に形成された径方向ガイド穴に前記支持軸を貫通させて前記主円盤の円盤面に真空吸着により着脱自在に取り付けられる吸着アームと、前記吸着アームを貫通した前記支持軸に対して回転自在に支持されると共に前記吸着アームに対して径方向への相対移動が可能でかつ回転が規制された状態で取り付けられる測定半径設定板と、前記吸着アームに取り付けられた測定ヘッドと、を具備し前記吸着アームを前記主円盤の径方向に移動させて径方向測定位置を調整する一方、前記吸着アームを前記支持軸を中心に回転させて回転方向測定位置を調整することを特徴とする平面度測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/30

FI (1件)：

G01B11/30 101

Fターム (5件)：

2F065AA47 , 2F065GG04 , 2F065PP02 , 2F065PP05 , 2F065PP22

引用特許：

出願人引用 (2件)

平面度測定方法および測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-145913 出願人：三菱電機株式会社
特開昭59-73717号公報

前のページに戻る