特許

J-GLOBAL ID：200903047448581553

保護層系を有する多層系および製造方法

発明者： フレデリック・ビーケルク ,  エリック・ルイス ,  アンドレイ・イー・ヤクシン ,  ペーター・コーネリス・ゲルツ ,  セバスチアン・エストライヒ
出願人/特許権者： カール-ツァイス-シュティフトゥング・トレーディング・アズ・カール・ツァイス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103192
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330703
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】多層系およびその製造を提供すること。【解決手段】本多層系はルテニウム、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、炭化モリブデン、炭素、窒化チタン、または二酸化チタンから作られる保護層を有する。この多層系は、イオンビームサポートにより最外層保護層を作るために、保護層の直接のイオンビームサポート成長によるかまたはルテニウムの場合を除いてイオンビームサポートにより原子レベルで酸素または窒素とアルミニウムまたはチタンをミックスすることにより作り出される。

請求項（抜粋）：

異なる屈折率または吸収係数を有する材料の交互層から作られた遠紫外線波長範囲のための多層系であって、保護層系を有し、該保護層系は、少なくともルテニウム、少なくとも酸化アルミニウム、少なくともシリコンカーバイド、少なくとも窒化チタンまたは少なくとも二酸化チタンからなることを特徴とする多層系。

IPC (6件)：

G02B 1/10 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28

FI (6件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28 ,  G02B 1/10 Z ,  G02B 1/10 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 極紫外リソグラフィー用の多重層反射性コーティング用不動態化オーバーコート二重層
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-519798   出願人：ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア
• 多層膜X線反射鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-033249   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開昭63-053267
  
• 特開昭63-053267
  
• 特開昭63-053267