レーザプラズマX線発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：進藤純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-176575
公開番号（公開出願番号）：特開2001-357998
出願日： 2000年06月13日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】レーザプラズマX線発生装置において、発生したクレータにターゲット材を集中し、クライオターゲット層を速やかに修復できるようにする。【解決手段】クライオ化カバー1の内部に回転ドラム2を回転方向および軸方向移動可能に設置し、極低温に保持する。そして、クライオ化カバー1に、スタート時のクライオターゲット層形成のためのターゲットガスを供給する形成用ノズル5とは別に、パルスレーザ光の集光照射により発生したクレータを修復するために同じターゲットガスの低温高密度のガスジェット流を生成するよう、パルスレーザ光の集光照射点に対し該回転ドラム2の回転方向下流で集光照射点の移動の軌跡に沿った位置に、単数個または複数個の修復用ノズル7を設置し、更にその下流に、機械的切削作用によりクライオターゲット層表面を修正する表面形状修正プレート8(熱的融解作用による手段でもよい)を配置する。

請求項（抜粋）：

化学的に不活性で室温でガス状のターゲット材を、液体窒素等により極低温に冷却された円筒形状を有する回転体の表面に接触させ、冷却することにより、固体化して前記回転体の表面に堆積したクライオターゲット層を形成し、該クライオターゲット層の表面に、高尖頭パワーを有し所定の周波数で繰り返し出力されるパルスレーザ光を集光照射するとともに、前記回転体の回転方向または軸方向への移動あるいはそれら2方向への移動の組み合わせにより、空間的に固定されたパルスレーザ光の集光照射点に対して前記クライオターゲット層を有する回転体表面を面方向へ移動させて、該回転体表面上で前記集光照射点を所定の軌跡を描くように移動させ、前記パルスレーザ光の集光照射により高温高密度プラズマを生成し、該高温高密度プラズマからパルスX線を連続的に繰り返し発生させるレーザプラズマX線発生装置において、前記クライオターゲット層を形成する回転体表面に面し、前記集光照射点に対し前記回転体の回転方向下流で、前記集光照射点の移動の軌跡に沿った位置に、単数個または複数個のクライオターゲット層修復用ノズルを配置し、該クライオターゲット層修復用ノズルにより前記ターゲット材の低温高密度のガスジェット流を生成して、パルスレーザ光の集光照射毎に前記集光照射点の軌跡に沿ってクライオターゲット層表面に残されたクレータに対し前記ガスジェット流を局所的に当てることにより、それらクレータをクレータ発生前と同じターゲット材で埋め、クライオターゲット層を修復することを特徴とするレーザープラズマX線発生装置。

IPC (2件)：

H05G 2/00 , H05G 1/02

FI (2件)：

H05G 1/02 P , H05G 1/00 K

Fターム (9件)：

4C092AA06 , 4C092AA14 , 4C092AB30 , 4C092AC09 , 4C092AC20 , 4C092BD06 , 4C092BD17 , 4C092BD18 , 4C092BD20

引用特許：

審査官引用 (5件)

X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-161782 出願人：株式会社ニコン
X線発生方法およびX線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-051866 出願人：株式会社ニコン
特開平3-283398

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