非接触搬送装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：筒井大和 , 小塚善高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-032476
公開番号（公開出願番号）：特開2005-219922
出願日： 2004年02月09日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：

【課題】搬送ヘッドの先端面に沿って流れる気体の流速や流量を調整し得るようにする。【解決手段】搬送ヘッド12の先端面には、気体供給孔19の開口部が形成された気体供給面18と、これよりも突出した環状の保持面21と、気体供給面18から保持面21になだらかに連なる気体案内面22とが形成され、搬送ヘッド12に装着されるノズル24は、搬送ヘッド12に装着される基部24aと、気体供給面18に対向するとともにこれとの間で環状の気体吐出用のスリット25を形成する円板部24bとを備えている。ノズル24は搬送ヘッド12に対してねじ部材35により軸方向に移動することによってスリット25の幅は変化する。ノズル24にはスリット25の幅を大きくする方向の弾性力がゴム材37により加えられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

気体供給孔の開口部が形成された気体供給面と、この気体供給面よりも突出した環状の保持面と、前記気体供給面から前記保持面になだらかに連なる気体案内面とが先端面に形成された搬送ヘッドと、前記搬送ヘッドに装着される基部と、前記気体供給面に対向するとともに前記気体供給面との間で環状の気体吐出用のスリットを形成する円板部とを備えたノズルと、前記ノズルを前記搬送ヘッドに対して軸方向に移動して前記スリットの幅を変化させるノズル移動部材とを有することを特徴とする非接触搬送装置。

IPC (3件)：

B65G49/07 , B25J15/06 , H01L21/68

FI (3件)：

B65G49/07 H , B25J15/06 Z , H01L21/68 C

Fターム (8件)：

3C007DS01 , 3C007FS04 , 3C007FU08 , 3C007NS12 , 3C007NS26 , 5F031CA02 , 5F031GA28 , 5F031PA24

引用特許：

出願人引用 (5件)

搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-348145 出願人：株式会社コガネイ
プリント基板の吸着装置及び投入機
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-100580 出願人：株式会社山電工業
特開昭63-201028

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審査官引用 (6件)

プリント基板の吸着装置及び投入機
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-100580 出願人：株式会社山電工業
特開昭63-201028
特開昭63-201028

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