特許

J-GLOBAL ID：200903047605960954

斜入射照明用アパーチャ及びこれを利用した投影露光装置

発明者： 孫 昌 鎭 ,  金 鐵 洪 ,  韓 宇 聲
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124329
公開番号（公開出願番号）：特開平9-050131
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 斜入射照明用アパーチャ及びこれを利用した投影露光装置を提供する。【解決手段】 遮光領域と光透過領域を具備する斜入射照明用アパーチャにおいて、光透過領域が入射光をコンデンサーレンズの縁部に回折させるプリズム形である。従って、光透過領域の面積が広がって光強度が高められるので、露光時間を短くし、生産性を向上させうる。

請求項（抜粋）：

遮光領域と光透過領域を具備する斜入射照明用アパーチャにおいて、前記光透過領域が入射光をコンデンサーレンズの縁部に回折させるプリズム形であることを特徴とする斜入射照明用アパーチャ。

IPC (2件)：

G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 投影型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-027107   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-334596   出願人：株式会社日立製作所