特許
J-GLOBAL ID：200903047671884487
酸化物単結晶の製造方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-056173
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316196
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：
【要約】【課題】単結晶の育成長さが大きくなるのに付随した単結晶結晶性の劣化を防止する。【解決手段】酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶15を接触させ、溶融物をルツボの開口から引き下げ軸Pの方向に引下げながら酸化物単結晶を育成する。種結晶15を固定する保持部材17と、保持部材の下方に取り付けられた、引き下げ軸Pに対する保持部材17の角度を傾斜させるための傾斜機構19とを備えている架台30を使用する。種結晶15を保持部材17によって保持した後、引き下げ軸に対する保持部材の角度を傾斜させることによって、種結晶15の結晶育成のために選ばれた結晶方位の引き下げ軸に対する角度を縮小させる。
請求項（抜粋）：
酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を前記ルツボの開口から所定の引き下げ軸の方向に引き下げることによって、前記酸化物単結晶を育成する酸化物単結晶の製造方法であって、前記種結晶を固定保持し、その後前記単結晶を成長するために選ばれた前記種結晶の所定の結晶方位の前記引き下げ軸に対する角度を縮小させることを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
4G077AA02
, 4G077BC32
, 4G077BC40
, 4G077CF01
, 4G077EG11
, 4G077PH01
