特許
J-GLOBAL ID：200903098817683520
繊維状結晶製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外13名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253736
公開番号（公開出願番号）：特開2001-080999
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：
【要約】【課題】 結晶成長時における曲がりや歪みを防止し、引き下げによる欠陥が少ない長尺の繊維状結晶の製造装置を提供する。【解決手段】 種結晶の保持具に自動調心機能を有するコレットチャックを用いることとし、更に固液境界面近傍と中心として引き下げ方向の角度調整を可能とした。
請求項（抜粋）：
容器内に保持された結晶材料を融解し、該容器に設けられた細孔より融解された前記結晶材料を種結晶を介して引き下げることにより、前記結晶材料から繊維状の結晶を生成する繊維状結晶製造装置において、先端部に結合された把持手段によって該種結晶を保持するシード保持具と、上部を該シード保持具に連結するシード軸と、該シード軸と連結して該シード軸を引き下げ方向に垂直な平面上で移動可能とする調整系と、該シード軸及び該調整系を略鉛直方向に引き下げる駆動機構とからなる装置であって、更に前記繊維状結晶製造装置は、前記引き下げ方向を中心軸として該シード軸を回転させる回転装置と、前記引き下げ方向の鉛直方向に対する角度を調整する角度調整手段とを有することを特徴とする繊維状結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/62 V
, H01L 21/208 Z
4G077AA04
, 4G077BA04
, 4G077BB01
, 4G077BC24
, 4G077BC32
, 4G077BC37
, 4G077CF01
, 4G077CF04
, 4G077EG11
, 4G077EG12
, 5F053AA50
, 5F053BB04
, 5F053DD01
, 5F053FF10
, 5F053GG01
, 5F053HH04
, 5F053LL10
, 5F053RR01
, 5F053RR03
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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