特許
J-GLOBAL ID：200903047697225112

インプリントリソグラフィ

発明者：
ヴェルシューレン,マルクス,アントニウス

ヴェルシューレン,マルクス,アントニウス について

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ウイスター,サンダー フレデリック

ウイスター,サンダー フレデリック について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について

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コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  大賀 眞司 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-164950
公開番号（公開出願番号）：特開2008-068611
出願日： 2007年06月22日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：
【課題】基板と、パターンを担持する硬化した無機ゾルゲルとからなるインプリントテンプレートを提供する。【解決手段】インプリントテンプレートを作成する方法は、マスタインプリントテンプレートのパターン付き表面に硬化性材料を塗布し、硬化性材料を硬化し、それによってマスタインプリントテンプレートのパターン付き表面の逆であるパターン付き表面を有する第二インプリントテンプレートを形成し、マスタインプリントテンプレートから第二インプリントテンプレートを除去し、無機ゾルゲルを基板に塗布し、第二インプリントテンプレートで無機ゾルゲルにインプリントし、無機ゾルゲルを硬化させ、無機ゾルゲルがマスタインプリントテンプレートのパターン付き表面に対応するパターン付き表面を有する第三インプリントテンプレートを形成するように、硬化した無機ゾルゲルから第二インプリントテンプレートを除去する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
マスタインプリントテンプレートのパターン付き表面に硬化性材料を塗布し、 前記硬化性材料を硬化し、それによって前記マスタインプリントテンプレートの前記パターン付き表面の逆であるパターン付き表面を有する第二インプリントテンプレートを形成し、 前記マスタインプリントテンプレートから前記第二インプリントテンプレートを除去し、 無機ゾルゲルを基板に塗布し、 前記第二インプリントテンプレートで前記無機ゾルゲルにインプリントし、 前記無機ゾルゲルを硬化させ、 前記無機ゾルゲルが前記マスタインプリントテンプレートの前記パターン付き表面に対応するパターン付き表面を有する第三インプリントテンプレートを形成するように、前記硬化した無機ゾルゲルから前記第二インプリントテンプレートを除去する、 ことを有する、インプリントリソグラフィテンプレートを作成する方法。
IPC (3件)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  G11B 5/84
FI (3件)：
B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  G11B5/84 Z
Fターム (29件)：
4F202AH36 ,  4F202AJ03 ,  4F202AJ06 ,  4F202AJ09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CD24 ,  4F202CD30 ,  4F209AA33 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ02 ,  4F209AJ06 ,  4F209AJ08 ,  4F209AJ09 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN01 ,  4F209PN09 ,  5D112AA05 ,  5D112AA17 ,  5D112AA24 ,  5D112GA00 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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