密閉コンテナの開閉システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031318
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205125
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】本発明は、昇降に追従してウエハカセットをスタッカー側に並行スライド移動させることにより、簡単な構造で密閉コンテナの開閉とスタッカーでのウエハカセットの取り出しを可能とする。【解決手段】本発明の密閉コンテナの開閉システムでは、昇降機構が、ウエハカセット5A,5Bの昇降に追従して、ウエハカセット5A,5Bの昇降方向に直交する方向で旋回ローダ12で旋回移送される密閉コンテナ3の旋回半径以上となる移載装置30でのウエハカセット5A,5Bの授受可能な位置まで、ウエハカセット5A,5Bを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

複数の半導体ウエハを段々に載置されたウエハカセットを密閉して収納する密閉コンテナと、前記密閉コンテナを搬送経路に沿って搬送する搬送装置と、前記搬送装置で搬送されてきた前記密閉コンテナを授受して旋回移送する旋回ローダと、前記旋回ローダで旋回移送された前記密閉コンテナを開放して前記ウエハカセットを降下させて取り出し、又は前記ウエハカセットを上昇させて前記密閉コンテナ内に密閉状態で収納する昇降機構を有する開閉装置と、前記昇降機構で前記密閉コンテナから取り出された前記ウエハカセットを取り出し、又は前記ウエハカセットを前記昇降機構に載置する移載装置とを備えてなる密閉コンテナの開閉システムにおいて、前記昇降機構が、前記ウエハカセットの昇降に追従して、前記ウエハカセットの昇降方向に直交する方向で前記旋回ローダで旋回移送される前記密閉コンテナの旋回半径以上となる前記移載装置での前記ウエハカセットの授受可能な位置まで、前記ウエハカセットを同時に昇降及びスライド往復移動させる機能を兼ね備えていることを特徴とする密閉コンテナの開閉システム。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-093660 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-168276 出願人：村田機械株式会社
自動倉庫
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-303832 出願人：株式会社ダイフク

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