カップ式めっき装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中大輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-294461
公開番号（公開出願番号）：特開2001-115297
出願日： 1999年10月15日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】めっき面積の増大及びめっき電流の増加に、容易に対応でき、ウェーハの被めっき面全面でのめっき膜厚が均一になるような、均一なめっき電流をウェーハへ供給することができる技術を提供する。【解決手段】めっき槽2開口部へ配置されるリング状のカソード電極Cにウェーハ3の周縁部4を接触させ、ウェーハ3とめっき槽2内部に配置されたアノード電極8とを分極し、ウェーハ3にめっき電流を供給することでめっき処理を施すようにしたカップ式めっき装置1において、リング状のカソード電極Cは複数に分割された分割カソード電極C1〜C6から形成されるとともに各分割カソード電極C1〜C6とアノード電極8とによりカレントミラー回路を形成するようにした。

請求項（抜粋）：

めっき槽開口部へ配置されるリング状のカソード電極にウェーハの周縁部を接触させ、ウェーハとめっき槽内部に配置されたアノード電極とを分極し、ウェーハにめっき電流を供給することでめっき処理を施すようにしたカップ式めっき装置において、リング状のカソード電極は複数に分割された分割カソード電極から形成されるとともに各分割カソード電極とアノード電極とによりカレントミラー回路を形成し、各分割カソードからウェーハに流れるめっき電流を均一に供給するようにしたことを特徴とするカップ式めっき装置。

引用特許：

出願人引用 (6件)

ウエハ用メッキ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-232611 出願人：カシオ計算機株式会社
特開昭57-092190
特開平4-280992

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