鍔付きプローブ、鍔付きプローブの製造方法及びプローブカード

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大西孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224920
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050981
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【目的】プローブカードをより簡単にかつ安価に製造することができ、スクラブを生じさせることでクリーニングを不要としたプローブとする。【構成】鍔部130と、この鍔部130より一方側に延設された接触部110と、前記鍔部130から他方側に延設された接続部120とを備えており、前記接触部111は湾曲部111、113を有し、前記接続部120は真っ直ぐに形成されている。

請求項（抜粋）：

鍔部と、この鍔部より一方側に延設された接触部と、前記鍔部から他方側に延設された接続部とを具備しており、前記接続部は真っ直ぐに形成されていることを特徴とする鍔付きプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 D , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

Fターム (17件)：

2G003AA07 , 2G003AG03 , 2G003AG12 , 2G011AA01 , 2G011AA02 , 2G011AA16 , 2G011AB05 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G011AF07 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD03 , 4M106DD30

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-143663
端子板およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-370316 出願人：株式会社オプトニクス精密
検査用基板のプローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-046627 出願人：日立電子エンジニアリング株式会社

審査官引用 (9件)

端子板およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-370316 出願人：株式会社オプトニクス精密
特開平4-143663
特開平4-143663

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