特許
J-GLOBAL ID：200903047778201803

ブラックレジスト用感光性樹脂組成物並びにこれを用いて形成された遮光膜

発明者：
東 学

東 学 について

, 
河野 正範

河野 正範 について


出願人/特許権者：
新日鐵化学株式会社

新日鐵化学株式会社 について


代理人 (3件)： 成瀬 勝夫 ,  中村 智廣 ,  佐野 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-160954
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361736
出願日： 2003年06月05日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】パターン寸法安定性、現像マージン、パターン密着性、パターンのエッジ形状のシャープ性が良好な厚膜に適したブラックレジスト用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)ビスフェノール類から誘導されるエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物を更に多塩基酸カルボン酸無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物、(B)N-置換マレイミド、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和単量体と、他のエチレン性不飽和単量体を含有するモノマー混合物を重合して得られる共重合体であって、Mwが7000〜120000、酸価が70〜150(KOHmg/g)であるアルカリ可溶性樹脂、(C)エチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、(E)黒色有機顔料、混色有機顔料又は遮光材からなる遮光性分散顔料、の各成分を必須成分として含むブラックレジスト用感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
下記(A)〜(E)成分、 (A)ビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応物を更に多塩基酸カルボン酸又はその無水物と反応させて得られた不飽和基含有化合物、 (B)N-置換マレイミド、カルボキシル基を1個以上有するエチレン性不飽和単量体と、他のエチレン性不飽和単量体を含有するモノマー混合物を重合することより得られる共重合体であって、重量平均分子量が7000〜120000、カルボキシル基含有量が酸価で70〜150(KOHmg/g)を示すアルカリ可溶性樹脂からなるバインダー樹脂、 (C)少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、 (D)光重合開始剤、 (E)黒色有機顔料、混色有機顔料及び遮光材から選ばれる少なくとも1種以上の遮光性分散顔料、 を必須成分として含み、上記(A)成分100重量部に対して、(B)成分が5〜110重量部、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、(C)成分が40〜110重量部配合されていることを特徴とするブラックレジスト用感光性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F7/027 ,  C08F290/06 ,  C08G59/17 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033
FI (6件)：
G03F7/027 515 ,  C08F290/06 ,  C08G59/17 ,  G02B5/20 101 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/033
Fターム (44件)：
2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB13 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC12 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BA43 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  4J027AE02 ,  4J027BA08 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA24 ,  4J027BA25 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027CA03 ,  4J027CA12 ,  4J027CA21 ,  4J027CA34 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J036CA19 ,  4J036CA20 ,  4J036CA21 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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