特許
J-GLOBAL ID：200903047783233500
表面処理済みアルミニウム窒化物およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-140236
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354486
出願日： 2000年01月13日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：
【要約】【課題】 アルミニウム窒化物の表面にシリカ層が形成された表面処理済みアルミニウム窒化物およびその製造方法を提供することを、本発明の課題とする。【解決手段】 アルミニウム窒化物の表面に形成された上記シリカ層によって、空気中の酸素および水蒸気が、アルミニウム窒化物の表面と反応してアルミナを形成する酸化損傷が抑制されることを、本発明の解決手段とする。
請求項（抜粋）：
アルミニウム窒化物の表面にシリカ層が形成された表面処理済みアルミニウム窒化物であって、アルミニウム窒化物の表面に形成された上記シリカ層によって、空気中の酸素および水蒸気が、アルミニウム窒化物の表面と反応してアルミナを形成する酸化損傷が抑制されることを特徴とする表面処理済みアルミニウム窒化物。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C04B 41/87 G
, C04B 41/87 M
, C23C 14/10
4K029AA04
, 4K029BA46
, 4K029CA02
, 4K029DB05
