特許
J-GLOBAL ID:200903047788982889

マイクロ流体素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 勝利
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-064912
公開番号(公開出願番号):特開2004-271430
出願日: 2003年03月11日
公開日(公表日): 2004年09月30日
要約:
【課題】マイクロ流体素子の微細な流路の内表面に該流路を閉塞することなく、また、例えば酵素や抗原などのタンパク質、あるいは触媒などを最適に多く固定できる多孔質層を該流路の表面に均一な厚さで形成するマイクロ流体素子の製造方法を提供すること。【解決手段】支持体の上に、表面に多数の細孔を有する多孔質層を形成しておき、該多孔質層の上に活性エネルギー線硬化性の組成物を塗工して細孔を埋め、前記エネルギー線硬化性の組成物の露光、現像により、流路と成すべき部分以外を硬化させて底面に多孔質層が露出した凹部を形成した後、該凹部に蓋となる部材を固着して流路を形成することにより、多孔質層を該流路の表面に均一な厚さで容易に形成できる。【選択図】 なし。
請求項(抜粋):
(1)支持体の表面に多数の細孔を有する多孔質層を形成する工程、(2)該多孔質層の上に活性エネルギー線重合性の化合物(a)を含有する活性エネルギー線硬化性の組成物(X)を塗工し、該組成物(X)の未硬化塗膜を形成し、流路と成すべき部分以外の前記未硬化塗膜に活性エネルギー線を照射して前記組成物(X)の硬化又は半硬化塗膜を形成し、非照射部分の未硬化の前記組成物(X)を除去して、多孔質層が底面に露出した凹部を形成する工程、及び、(3)前記凹部を有する部材の凹部に蓋となる他の部材を固着して前記凹部を空洞状の流路と成す工程を有することを特徴とする、マイクロ流体素子の製造方法。
IPC (3件):
G01N37/00 ,  B81C5/00 ,  G03F7/20
FI (3件):
G01N37/00 101 ,  B81C5/00 ,  G03F7/20 501
Fターム (3件):
2H097FA02 ,  2H097FA10 ,  2H097LA20
引用特許:
出願人引用 (4件)
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