特許

J-GLOBAL ID：200903047799553530

磁気抵抗素子およびその製造方法

発明者： 古川 光弘 ,  竹内 寛 ,  服部 孝道 ,  森杉 和司 ,  倉増 敬三郎 ,  山下 清春
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015172
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226546
出願日： 1994年02月09日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 検出要素の電気抵抗値を等しく揃えることで性能の良い磁気抵抗素子およびその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 磁気抵抗材料の一定の幅を有する細長いエレメント12a,12b,12c,12dを一定の間隔13a,13b,13cで複数個平行に並べてつづら折り状に接続した複数の検出要素11a,11b,11c,11dを接続してブリッジ回路を構成するエレメントと同材料の引き回し電極14a,14b,14c,14dを備え、この検出要素11a,11b,11c,11dのそれぞれ隣合う検出要素間の間隔15b,15c,15dを等しくし、この間隔15b,15c,15dと最も外側の検出要素11a,11dと隣合って平行に並べられた引き回し電極14a,14dとの間隔15a,15eを全て等しくした。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された磁気抵抗材料の一定の幅を有する細長いエレメントを一定の間隔を設けて複数個平行に並べてつづら折り状に接続した一つの検出要素を複数個備え、前記複数個の検出要素を接続してブリッジ回路を構成する前記エレメントと同材料の引き回し電極を備えた磁気抵抗素子において、前記複数個の検出要素のそれぞれ隣合う検出要素間の間隔を等しくするとともに、この間隔と、最も外側の検出要素と隣合って平行に並べられた前記引き回し電極との間隔を全て等しくした磁気抵抗素子。

IPC (5件)：

H01L 43/08 ,  G01D 5/245 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/39 ,  H01L 43/12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 強磁性体磁気抵抗素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-298273   出願人：旭化成工業株式会社
• レジストパターン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-201879   出願人：株式会社ソルテック