特許

J-GLOBAL ID：200903047858439150

レチクルカバーおよび露光装置

発明者： 寺島 茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-077568
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268464
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【課題】 給排気時の圧力差を緩和し、かつレチクルとレチクルカバーが形成する空間に面する材料をフィルター材のみとするレチクルカバーを提供すること。【解決手段】 レチクルのパターン面を保護する目的の着脱可能なレチクルカバーにおいて、該レチクルカバーはフレームとフィルターから構成され、レチクルと該レチクルカバーが作る空間に接する面はフィルターによって形成されるように構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レチクルのパターン面を保護する目的の着脱可能なレチクルカバーにおいて、該レチクルカバーはフレームとフィルターから構成され、レチクルと該レチクルカバーが作る空間に接する面はフィルターによって形成されることを特徴としたレチクルカバー。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G03F1/14 ,  G03F1/16 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 531M ,  G03F1/14 J ,  G03F1/16 A ,  G03F7/20 521

Fターム (7件)：

2H095BA01 ,  2H095BA10 ,  2H095BC30 ,  2H095BC36 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01 ,  5F046GD20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レチクルを保護する2部分カバーを用いるシステムおよび方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-046630   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 箱体の固定構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-100221   出願人：矢崎総業株式会社