特許
J-GLOBAL ID:200903047873289742
着色膜の膜厚ムラ検査方法及び装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-003542
公開番号(公開出願番号):特開2004-219108
出願日: 2003年01月09日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】透明体上に被着された着色膜の膜厚のムラを、製造工程においても確実に検査できるようにする。【解決手段】透明体に着色膜が被着されたワークWを、白色蛍光灯12による透過照明下でラインセンサカメラ10により撮像し、得られた画像に基づいて該着色膜の膜厚のムラを検査する着色膜の膜厚ムラ検査装置であって、前記ワークWを透過した、前記着色膜の吸収率の高い波長域の光を、補色フィルタ22を通して前記撮像手段により撮像する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
透明体に着色膜が被着された対象物を透過照明下で撮像手段により撮像し、得られた画像に基づいて該着色膜の膜厚のムラを検査する際、
前記対象物を透過した、前記着色膜の吸収率の高い波長域の光を、前記撮像手段により撮像することを特徴とする着色膜の膜厚ムラ検査方法。
IPC (4件):
G01B11/06
, G01N21/958
, G02B5/20
, G02F1/13
FI (4件):
G01B11/06 101H
, G01N21/958
, G02B5/20 101
, G02F1/13 101
Fターム (47件):
2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065BB17
, 2F065BB22
, 2F065CC02
, 2F065CC21
, 2F065CC31
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065FF46
, 2F065GG03
, 2F065GG24
, 2F065HH12
, 2F065HH15
, 2F065JJ02
, 2F065JJ08
, 2F065JJ25
, 2F065LL22
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065PP16
, 2F065QQ04
, 2F065QQ21
, 2F065QQ24
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
, 2F065QQ32
, 2F065QQ34
, 2F065SS14
, 2G051AA90
, 2G051AB20
, 2G051BA04
, 2G051BB07
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CC07
, 2G051DA06
, 2G051EA11
, 2G051EA17
, 2G051EC02
, 2H048BA11
, 2H048BB28
, 2H048BB42
, 2H088FA11
, 2H088HA12
, 2H088MA04
, 2H088MA20
引用特許:
前のページに戻る