特許
J-GLOBAL ID：200903066890682096
カラー試料の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
土井 育郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-006426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194112
出願日： 1995年01月19日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 共通欠陥による多くの不良品を出すことがなく、また被検査物のサイズが製品によって異なってもこれに対処して欠陥検査を行え、さらには異なる種類の欠陥も確実に検出して不良の発生を防止できるようにする。【構成】 膜の形成工程と当該膜の露光・現像工程により基板上に遮光パターンと赤、緑、青の各着色画素パターンとを一貫ライン上で順次形成するカラー試料の製造装置において、各パターンの形成後に欠陥を検査する検査装置と、欠陥を検出した場合に基板をラインから排出するリジェクタと、検出した欠陥が共通欠陥である場合に露光部の露光マスクを交換するマスクチェンジャーとを設ける。また、2台の調整可能なカメラを検査装置に用いて、被検査物のサイズの変化に対応させるようにする。また、検査装置の光源に光学フィルタを設けるか、光源そのものに分光光源を用いる。
請求項（抜粋）：
膜の形成工程と当該膜の露光・現像工程により基板上に遮光パターンと赤、緑、青の各着色画素パターンとを一貫ライン上で順次形成するカラー試料の製造装置において、各パターンの形成後にカラー試料を光源により照射して当該パターンの欠陥検査を行う検査装置と、欠陥を検出した場合に基板をラインから排出するためのリジェクタと、検出した欠陥が予め所定回数カウントアップして設定してある共通欠陥であると判別した場合に、露光に用いる露光マスクを自動的に交換するマスクチェンジャーとを備えたことを特徴とするカラー試料の製造装置。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
, G03F 1/00
