特許
J-GLOBAL ID:200903047894524083
酸化アルミニウム単結晶の製造方法及びこの方法を用いて得られる酸化アルミニウム単結晶
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
河備 健二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-014675
公開番号(公開出願番号):特開2007-197230
出願日: 2006年01月24日
公開日(公表日): 2007年08月09日
要約:
【課題】微小な気泡に起因するピットやマイクロバブルが大幅に減少し、電子部品材料や光学用部品材料に適した高品質な酸化アルミニウム単結晶、及びマイクロバブルの発生を抑制して効率的に酸化アルミニウム単結晶を製造する方法を提供する。【解決手段】原料融液から成長結晶を引き上げる溶融固化法において、単結晶用原料として、比表面積1m2/g以下の酸化アルミニウム焼結体をイリジウム坩堝に入れて、10時間以上かけて徐々に加熱溶融した後、炉体内雰囲気を酸素分圧10〜500Paに設定し、酸化アルミニウム単結晶を育成する。これにより、原料に吸着または内包しているガス成分の取り込みを抑え、融液中での微小な気泡の発生を抑制する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
炉体内の坩堝に単結晶用原料を入れて加熱溶融し、原料融液から成長結晶を引き上げる溶融固化法により酸化アルミニウム単結晶を製造する方法において、
上記単結晶用原料として、比表面積1m2/g以下の酸化アルミニウム焼結体を用い、かつ、該単結晶用原料を加熱溶融し、単結晶を育成する際に、炉体内雰囲気中の酸素濃度を酸素分圧で10〜500Paに設定することを特徴とする酸化アルミニウム単結晶の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (11件):
4G077AA02
, 4G077AB04
, 4G077BB01
, 4G077CF10
, 4G077EA07
, 4G077EC05
, 4G077EG02
, 4G077HA02
, 4G077HA12
, 4G077PA03
, 4G077PA16
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (3件)
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