特許

J-GLOBAL ID：200903047907170146

研磨パッド固定用両面テープ

発明者： 福岡 義幸
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 勝徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-024248
公開番号（公開出願番号）：特開2007-203400
出願日： 2006年02月01日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】スラリー耐性に優れ、表面の凹凸が大きい研磨パッドであってもしっかりと研磨定盤に固定することができる研磨パッド固定用両面テープを提供する。【解決手段】基材2の一方の面に研磨パッドに固着される第1の接着層3が設けられ、基材2の他方の面に定盤に固着される第2の接着層4が形成され、研磨パッドを研磨装置の定盤に固定する研磨パッド固定用両面テープ1であって、第1の接着層3が、合成ゴム系ホットメルト型接着剤で形成され、第2の接着層4が感圧性粘着剤で形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材の一方の面に研磨パッドに固着される第1の接着層が設けられ、基材の他方の面に定盤に固着される第2の接着層が形成され、研磨パッドを研磨装置の定盤に固定する研磨パッド固定用両面テープであって、 前記第1の接着層が、合成ゴム系ホットメルト型接着剤で形成され、第2の接着層が感圧性粘着剤で形成されていることを特徴とする研磨パッド固定用両面テープ。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 ,  C09J 7/02 ,  C09J 121/00 ,  C09J 201/00

FI (5件)：

B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F ,  C09J7/02 Z ,  C09J121/00 ,  C09J201/00

Fターム (22件)：

3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058CB06 ,  3C058CB07 ,  4J004AA05 ,  4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB03 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CE01 ,  4J004EA05 ,  4J004FA08 ,  4J040CA041 ,  4J040CA071 ,  4J040CA081 ,  4J040CA141 ,  4J040DF031 ,  4J040JA09 ,  4J040JB01 ,  4J040JB09 ,  4J040NA20

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 研磨装置および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-104579   出願人：日本電気株式会社
• 研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-298016   出願人：旭硝子株式会社