コンタクトプローブ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225022
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055935
出願日： 1998年08月07日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】コンタクトプローブにおいて、4辺に不均等に電極が配置された半導体チップ等に対する適用や大型化にも対応可能にする。【解決手段】複数のパターン配線12がフィルムPI上に形成されこれらのパターン配線の各先端部がフィルムから突出状態に配されてコンタクトピン16とされるコンタクトプローブ10であって、主パターン配線12が形成されたコンタクトプローブ本体13と、コンタクトプローブ本体に一部が接続された分岐配線板15とから構成され、分岐配線板は、主パターン配線に接続された分岐パターン配線14が形成され、分岐パターン配線の先端には、ピン状に突出した接続用ピン部14aが形成され、コンタクトプローブ本体には、接続用ピン部が差し込まれる接続用貫通孔13aが形成され、接続用貫通孔は、その内周壁の一部が主パターン配線の一部で構成されたパターン配線壁部12aとされている。

請求項（抜粋）：

複数のパターン配線がフィルム上に形成されこれらのパターン配線の各先端部が前記フィルムから突出状態に配されてコンタクトピンとされるコンタクトプローブであって、前記各先端部を有する複数の主パターン配線が形成されたコンタクトプローブ本体と、該コンタクトプローブ本体に一部が接続された少なくとも一つの分岐配線板とから構成され、該分岐配線板は、前記複数の主パターン配線のうち少なくとも一部に接触状態に接続された分岐パターン配線が形成され、該分岐パターン配線の先端には、ピン状に突出した接続用ピン部が形成され、前記コンタクトプローブ本体には、前記接続用ピン部が差し込まれる接続用貫通孔が形成され、該接続用貫通孔は、その内周壁の一部が少なくとも前記主パターン配線の一部で構成されたパターン配線壁部であることを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/073 , G01R 31/26 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 F , G01R 31/26 J , H01L 21/66

Fターム (19件)：

2G003AA00 , 2G003AA07 , 2G003AG03 , 2G003AG12 , 2G011AA15 , 2G011AA21 , 2G011AB06 , 2G011AB08 , 2G011AC14 , 2G011AE03 , 2G011AE22 , 2G011AF01 , 4M106AA02 , 4M106BA01 , 4M106BA14 , 4M106DD03 , 4M106DD04 , 4M106DD10 , 4M106DD11

引用特許：

審査官引用 (4件)

コンタクトプローブおよびこれを用いたプローブ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-259831 出願人：三菱マテリアル株式会社
プローブカード
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-300953 出願人：富士通株式会社
特開昭57-080686

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