特許

J-GLOBAL ID：200903048124898836

差圧センサ、流量測定装置及び流量測定方法

発明者： 西野 仁 ,  中岡 春雪
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社
代理人 (1件)： 北村 修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144981
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332512
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 差圧の検出にあたって、電源と必要としない差圧センサを得る。【解決手段】 端部を固定部により固定支持された感圧膜7を備えるとともに、第1流体8aが導入される第1流体導入空間2aを前記感圧膜の裏面側に、第2流体8bが導入される第2流体導入空間2bを前記感圧膜の表面側に備え、それぞれの流体が対応する流体導入空間に導入された状態で前記感圧膜に発生する変形から、前記第1流体と第2流体との間の差圧を検出する差圧センサを構成するに、感圧膜7が、裏面側電極膜4a、圧電材料膜3、表面側電極膜4bを記載順に薄膜基板上に備えた膜状圧電素子5からなり、膜状圧電素子の表裏面間に、前記第1流体と前記第2流体との差圧が掛かる構成とする。

請求項（抜粋）：

端部を固定部により固定支持された感圧膜を備えるとともに、第1流体が導入される第1流体導入空間を前記感圧膜の裏面側に、第2流体が導入される第2流体導入空間を前記感圧膜の表面側に備え、それぞれの流体が対応する流体導入空間に導入された状態で前記感圧膜に発生する変形から、前記第1流体と第2流体との間の差圧を検出する差圧センサであって、前記感圧膜が、裏面側電極膜、圧電材料膜、表面側電極膜を記載順に薄膜基板上に備えた膜状圧電素子からなり、前記差圧を、前記裏面側電極膜と前記表面側電極膜間に於ける電気的出力として検出する差圧センサ。

IPC (3件)：

G01L 13/06 ,  G01F 1/20 ,  G01L 1/16

FI (3件)：

G01L 13/06 Z ,  G01F 1/20 E ,  G01L 1/16

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧力センサ及びこれを用いた流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-013409   出願人：株式会社リコー
• 特開昭58-182285
  
• 流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-239860   出願人：株式会社リコー, リコーエレメックス株式会社, リコー精器株式会社
• 特開昭58-182285