特許
J-GLOBAL ID：200903048160731930
外力計測装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-026123
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206458
出願日： 1997年01月24日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 外力計測装置において、検出部を有するシリコン板と凹陥部を有するガラス板と陽極接合するときに、ガラス板から発生するガスが密閉空間中に残留するのを低減して、可動部の動きを機敏にして検出感度を高める。【解決手段】 検出部3が形成されたシリコンウエハ21と、隔壁43によって格子状に画成された凹陥部42を有するガラス板41とを有し、該ガラス板41の隔壁43先端の接合面43Aに連通溝44を形成する。そして、前記シリコンウエハ21とガラス板41とを真空雰囲気中で陽極接合する。このとき、ガラス板41に形成した連通溝44は常に外部の真空と連通して減圧されているから、凹陥部42から発生するガスを連通溝44を介して排出でき、密閉空間33内を確実に減圧する。
請求項（抜粋）：
シリコン板と、該シリコン板に減圧雰囲気中で陽極接合して設けられたガラス板と、前記シリコン板とガラス板とを接合したときに前記シリコン板とガラス板との間に画成された密閉空間と、前記シリコン板上に位置して該密閉空間内に設けられ外部から加わる力を検出する検出部とを備えた外力測定装置において、前記シリコン板またはガラス板のうち少なくともいずれか一方の接合面には、前記密閉空間と離間した状態で該密閉空間を取囲み、かつ外部に対して連通する連通溝を形成したことを特徴とする外力計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
