センサー用電極

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088709
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261979
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】電極間距離を小さくし、その結果電極面積を小さくすることによって高感度の溶液センサをうること。【構成】溶液またはガスを検知するセンサにおいて、基板1上に金属薄膜2と絶縁膜3とが積層されて構成され、かつ金属薄膜2を電極とするセンサ。

請求項（抜粋）：

溶液またはガスを検知するセンサにおいて、基板上に絶縁体薄膜と金属薄膜とが積み重なった構造の多層膜からなり、該金属薄膜を電極として使用することを特徴とするセンサー用電極。

IPC (3件)：

G01N 27/30 , G01N 27/12 , G01N 27/28 331

FI (3件)：

G01N 27/30 F , G01N 27/12 B , G01N 27/28 331 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

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審査官引用 (5件)

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