特許

J-GLOBAL ID：200903048188131300

周期欠陥検出方法および装置

発明者： 木村 克己 ,  篁 良司 ,  中路 晋一
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-190566
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132536
出願日： 1997年07月01日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 欠陥位置にばらつきが生じたり、欠陥の検出漏れが発生しても正確な周期判定を可能にする。【解決手段】 走行するシート状物体に光を投射し、反射光または透過光を受光してシート状物体に存在する欠陥を検出する欠陥検出方法において、シート状物体から検出された欠陥データのうちの少なくとも走行方向の位置(MD位置)および幅方向の位置(TD位置)のデータを用い、まず、任意のTD位置に注目しそのTD位置を中心として予め設定したTD位置許容範囲内の欠陥に対して各欠陥のMD位置の差分演算を行い、この差分値が基本周期の整数倍となった場合に、取り出した欠陥を基本周期と同一の周期欠陥と判定し、TD位置が隣接し周期の同じ周期欠陥同士を同一のグループに分類し、同一グループに分類した周期欠陥の中で、整数倍の倍率または1を加えた値を表示することを特徴とする周期欠陥検出方法、および装置。

請求項（抜粋）：

走行するシート状物体に光を投射し、反射光または透過光を受光してシート状物体に存在する欠陥を検出する欠陥検出方法において、シート状物体から検出された欠陥データのうちの少なくとも走行方向の位置(MD位置)および幅方向の位置(TD位置)のデータを用い、まずTD位置ごとに予め設定したTD位置許容範囲内で近接する欠陥同士を同一のグループに分類し、各同一グループに分類した欠陥群の中で、走行方向に隣接している欠陥のMD位置の差分演算を行い、得られた1個以上の差分値を基本周期として、あらためて該TD位置における欠陥の中から各基本周期に該当する先頭の欠陥がどれかを判定し、先頭の欠陥以降のMD位置にある欠陥を順次1個づつ取り出し、取り出した欠陥と先頭の欠陥とのMD位置の差分を計算し、この差分値が基本周期の整数倍となった場合に、取り出した欠陥を基本周期と同一の周期欠陥と判定することを特徴とする周期欠陥検出方法。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (3件)：

G01B 11/30 E ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/64 C

引用特許：

審査官引用 (2件)

• シートの欠陥検出方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-225522   出願人：東レ株式会社
• 金属表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-012125   出願人：新日本製鐵株式会社