特許
J-GLOBAL ID：200903048203930915
炭化珪素およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107285
公開番号（公開出願番号）：特開2002-226300
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：
【要約】【課題】 反位相領域境界面及び/又は内部応力に伴う反りや歪みを低減できる炭化珪素の製造方法、反位相領域境界面及び/又は内部応力に伴う反りや歪みが低減された単結晶炭化珪素及びその製造方法の提供。【解決手段】 基板表面に、例えば、気相または液相より炭化珪素を析出させる炭化珪素の製造方法。前記基板表面は略平行に延在する複数の起伏を有し、この起伏は中心線平均粗さが3〜1000nmの範囲にあり、この起伏の斜面の斜度は1°から54.7°の範囲にあり、かつこの起伏が延在する方向と直交する断面において、斜面同士が隣接する部分の形状が曲線状である。基板は珪素または炭化珪素であり、例えば、その表面の法線軸は<001>方位であり、基板表面の面積に占める{001}面の割合が10%を超えない。面欠陥密度が1000/cm<SP>2</SP>以下であり、内部応力が100MPa以下である単結晶炭化珪素。
請求項（抜粋）：
基板表面の少なくとも一部に炭化珪素を析出させる炭化珪素の製造方法において、前記炭化珪素を析出させる基板表面は略平行に延在する複数の起伏を有し、この起伏は中心線平均粗さが3〜1000nmの範囲にあり、この起伏の斜面の斜度は1°から54.7°の範囲にあり、かつこの起伏が延在する方向と直交する断面において、斜面同士が隣接する部分の形状が曲線状であることを特徴とする炭化珪素の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/36 A
, H01L 21/205
4G077AA03
, 4G077AB01
, 4G077BE08
, 4G077CG01
, 4G077DB13
, 4G077ED04
, 4G077ED05
, 4G077ED06
, 4G077TK04
, 4G077TK06
, 5F045AA03
, 5F045AA06
, 5F045AA11
, 5F045AC05
, 5F045AC07
, 5F045BB12
, 5F045BB13
, 5F045GH02
, 5F045HA03
審査官引用 (2件)
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炭化珪素の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-365323
出願人：ホーヤ株式会社
-
単結晶製造装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-028022
出願人：株式会社デンソー
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