薄膜ガスセンサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：森田雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-202547
公開番号（公開出願番号）：特開2007-024509
出願日： 2005年07月12日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：

【課題】消費電力の増加を極力抑えつつガス感知層による吸湿を抑止して高い感度を維持するようにして、環境による影響を受けないようにした薄膜ガスセンサを提供する。【解決手段】ガス感知層がガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動するガス検知駆動(High状態)と、ガス感知層が吸湿抑制温度となるように所定期間にわたりヒーター層をON/OFF駆動する(パルスOn状態とパルスOff状態とを交互に繰り返す)吸湿抑制駆動と、を交互に行って、ガス感知層5の吸湿を抑制するような薄膜ガスセンサとした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

貫通孔を有するSi基板と、この貫通孔の開口部に張られるダイアフラム様の熱絶縁支持層と、熱絶縁支持層上に設けられるヒーター層と、熱絶縁支持層およびヒーター層を覆うように設けられる電気絶縁層と、電気絶縁層上に設けられるガス感知層と、ヒーター層に接続される駆動部と、ガス感知層に接続される処理部と、を備え、駆動部は、ガス感知層がガス検知温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動するガス検知駆動手段と、ガス感知層が吸湿抑制温度となるように所定期間にわたりヒーター層を駆動する吸湿抑制駆動手段と、として交互に機能し、処理部は、ガス検知温度の際にガス感知層のセンサ抵抗値を算出してガス濃度を算出する手段と、として機能することを特徴とする薄膜ガスセンサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 , G01N 27/16

FI (3件)：

G01N27/12 B , G01N27/16 A , G01N27/16 B

Fターム (53件)：

2G046AA11 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC05 , 2G046BE03 , 2G046BE08 , 2G046BJ02 , 2G046BJ04 , 2G046DA05 , 2G046DB04 , 2G046DB05 , 2G046DC02 , 2G046DC03 , 2G046DC14 , 2G046DC18 , 2G046DD03 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046EA09 , 2G046EA11 , 2G046EB01 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE10 , 2G046FE25 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE41 , 2G046FE44 , 2G060AA01 , 2G060AB08 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF07 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA03 , 2G060BB09 , 2G060BB18 , 2G060BD02 , 2G060BD04 , 2G060HA01 , 2G060HB05 , 2G060HB06 , 2G060HD03 , 2G060HE02 , 2G060JA01 , 2G060KA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガス検出器、及びガス検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-314844 出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機ホールディングス株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-370935 出願人：富士電機機器制御株式会社
ガスセンサおよびそのガスセンサの駆動方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-211058 出願人：株式会社リコー

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