開口積層体の製造方法および開口積層体を用いた部品の製造方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-311987
公開番号（公開出願番号）：特開2004-142355
出願日： 2002年10月28日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】支持層と中間層と透過層を複数層積層してなる積層体にエッチング加工してなる開口積層体において、透過層にピンホールなどの悪影響をほとんど与えることなく支持層、または支持層と中間層の組にエッチング加工してなる開口積層体の製造方法、および開口積層体を用いた部品の製造方法の提供。【解決手段】支持層26と中間層28と透過層24を複数層積層してなる積層体22の少なくとも1つの接合面が、接合される層のそれぞれの面に活性化処理を施した後、活性化処理面同士が対向するように当接して重ね合わせて積層接合を施すことによって積層体22を製造する。次にこの積層体22に2段のエッチング加工を施すことによって開口積層体31を製造し、開口積層体31を用いて水素分離装置などに適用される部品を製造する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

支持層と中間層と透過層を複数層積層してなる積層体の少なくとも1つの支持層に、エッチング処理を施し、所定の開口率で少なくとも1つの開口を設けることを特徴とする開口積層体の製造方法。

IPC (4件)：

B32B31/22 , B01D69/10 , B01D71/02 , C23F1/00

FI (4件)：

B32B31/22 , B01D69/10 , B01D71/02 500 , C23F1/00 A

Fターム (39件)：

4D006GA41 , 4D006HA41 , 4D006JA03A , 4D006MA03 , 4D006MA30 , 4D006MB04 , 4D006MC02X , 4D006NA33 , 4D006NA47 , 4D006PA01 , 4D006PB66 , 4D006PC80 , 4F100AB01A , 4F100AB01B , 4F100AB01C , 4F100AB04A , 4F100AB24B , 4F100AB31C , 4F100AB33A , 4F100AB33B , 4F100AB33C , 4F100AT00A , 4F100AT00B , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100DC11A , 4F100DD11B , 4F100EJ15A , 4F100EJ15B , 4F100GB41 , 4F100JD02C , 4K057WA11 , 4K057WB02 , 4K057WB03 , 4K057WB17 , 4K057WD05 , 4K057WD07 , 4K057WE02

引用特許：

審査官引用 (5件)

水素分離膜およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-131420 出願人：住友金属工業株式会社, 三菱化工機株式会社
エッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-027627 出願人：凸版印刷株式会社
特公平4-077075

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