特許
J-GLOBAL ID：200903048260324355
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-082477
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282128
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーのバネ定数を求めることができ、また、求めたバネ定数に基づいてパラメータを自動設定することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーの変位検出によって試料の表面観察を行う走査型プローブ顕微鏡1において、走査型プローブ顕微鏡が備えるカンチレバー20の変位検出手段2の出力に基づいてカンチレバー20のバネ定数を測定する測定手段5を備え、これによって、バネ定数を求めるための格別の装置を設けることなく、走査型プローブ顕微鏡が備える変位検出手段の出力を用いてカンチレバーのバネ定数を求め、個々のカンチレバーの特性を求める。カンチレバーのバネ定数を測定する測定手段4は、変位検出手段2の出力からカンチレバーの熱ゆらぎを検出し、熱ゆらぎとバネ定数との関係からバネ定数を演算する。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの変位検出によって試料の表面観察を行う走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーの変位検出手段の出力に基づいてカンチレバーのバネ定数を測定する測定手段を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
