テラヘルツ光を用いた測定装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-375162
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205360
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】透過測定及び反射測定の両方を行う。しかも、コスト及び占有空間を低減する。【解決手段】試料1にテラヘルツ光を照射して試料1で反射したテラヘルツパルス光を検出する反射測定光学系、及び、試料2にテラヘルツパルス光を照射して試料2を透過したテラヘルツパルス光を検出する透過測定光学系が、1つの筐体3内に収容される。反射測定光学系及び透過測定光学系は、1つのフェムト秒パルスレーザ4を共有する。光路切り替え部5は、レーザ4からのパルス光に基づくポンプパルス光及びプローブパルス光が、反射測定光学系のテラヘルツ光発生器26及びテラヘルツ光検出器37にそれぞれ入射される状態と、透過測定光学系のテラヘルツ光発生器66及びテラヘルツ光検出器76にそれぞれ入射される状態とを、選択的に切り替える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザパルス光を発生する1つのパルス光発生部と、前記レーザパルス光によって励起されたテラヘルツパルス光を対象物に照射し、前記対象物を透過したテラヘルツパルス光を検出する透過測定光学系と、前記レーザパルス光によって励起されたテラヘルツパルス光を対象物に照射し、前記対象物を反射したテラヘルツパルス光を検出する反射測定光学系と、前記パルス光発生部からの前記レーザパルス光の光路を切り替えて、前記透過測定光学系及び前記反射測定光学系のいずれか一方に供給する光路切り替え部材と、前記パルス光発生部からの前記レーザパルス光を、前記テラヘルツパルス光を励起するためのポンプパルス光及び前記テラヘルツパルス光の検出タイミングを決定するプローブパルス光に分岐する前記透過測定光学系用及び前記反射測定光学系用の2つのビームスプリッタとを備え、前記光路切り替え部材は、前記パルス光発生部と、前記2つのビームスプリッタとの間の光路中に配置されたことを特徴とするテラヘルツパルス光を用いた測定装置。

IPC (2件)：

G01N21/35 , G01N21/01

FI (2件)：

G01N21/35 Z , G01N21/01 B

Fターム (21件)：

2G059AA02 , 2G059AA03 , 2G059BB16 , 2G059DD13 , 2G059DD15 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059HH01 , 2G059JJ13 , 2G059JJ14 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK01 , 2G059KK04 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059MM10 , 2G059PP04

引用特許：

審査官引用 (4件)

測定方法及び装置、並びに、イメージ化方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-074551 出願人：株式会社栃木ニコン, 株式会社ニコン
特開昭50-099790
特開昭58-092932

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