湿った環境中の走査型電子顕微鏡のための低圧チャンバー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 宮前徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-511866
公開番号（公開出願番号）：特表2005-529340
出願日： 2003年06月01日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：

【解決手段】電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリ(100)は、アパーチャ(122)を有し、覆われた標本配置用の体積領域(125)を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部(102)と、該アパーチャ(122)でエンクロージャ外部の体積領域から該標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー(114)と、該覆われた標本配置用の体積領域(125)と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、カバー(114)に亘る圧力差が該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにする。

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリであって、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、前記アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、前記覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、前記所定の圧力は、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、前記カバーに亘る圧力差が、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている、標本エンクロージャアッセンブリ。

IPC (2件)：

G01N23/225 , H01J37/20

FI (2件)：

G01N23/225 , H01J37/20 A

Fターム (8件)：

2G001AA03 , 2G001FA15 , 2G001MA02 , 2G001QA02 , 2G001RA08 , 5C001AA01 , 5C001BB07 , 5C001CC04

引用特許：

出願人引用 (31件)

米国特許番号4,071,766
米国特許番号6,130,434
米国特許番号6,025,592

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審査官引用 (6件)

特開昭51-042461
特開昭50-141968
走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-206191 出願人：株式会社ニコン

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