基板の機械的脱離機構およびその機構を用いた脱離方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-059319
公開番号（公開出願番号）：特開平7-305168
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】基板を台から完全に脱離でき、かつ基板を水平に修正する機械的脱離機構を提供することを目的としている。【構成】昇降可能の円形台3に対して、基板1の下面中央部と対向するピン2を設けると共に、下面外縁と対向するリング9を設ける。支柱6を降下させると、ピン2が円形台3の上面から突出し、次いでリング9が基板1の下面外縁に作用して円形台3から離すように構成してある。

請求項（抜粋）：

ベースと、基板を保持するためにそのベース上に配置された基板より小さい台と、その台の下から突き出てくるピンと、その台の周囲に配置された基板のへりの裏面と対向し昇降するリングとからなる基板の脱離機構において、基板のへりと対向するリング部分の厚みは、台の厚みより薄くしてあり、さらに、ピンが基板を持ち上げた後にリングが基板のへりを持ち上げるための駆動手段を備えたことを特徴とする基板の機械的脱離機構。

引用特許：

出願人引用 (4件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-038072 出願人：住友金属工業株式会社
特開平3-011750
特開昭63-080535

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