特許
J-GLOBAL ID：200903048441854216
弾性表面波共振子フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-343584
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186542
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：
【要約】【課題】 金属粉や異物の付着による電極の短絡や損傷を防止することができ、かつ十分な帯域幅を有するSAW共振子フィルタを得る。【解決手段】 36°Y回転カットのLiTaO3 圧電基板2上に、複数のインターデジタル電極3〜5を形成し、複数のインターデジタル電極3〜5が設けられている領域の表面波伝搬方向両側に反射器6,7を形成し、インターデジタル電極3〜5及び反射器6,7の上面にSiO2 膜8を形成してなり、インターデジタル電極3〜5及び反射器6,7の膜厚をh1 、SiO2 膜の膜厚をh2、表面波の波長λとしたときに、【数1】の関係を満たすように設定されているSAW共振子フィルタ1。
請求項（抜粋）：
36°Y回転カットのLiTaO3 圧電基板上に、それぞれインターデジタルトランスデューサを構成するための複数個のインターデジタル電極が形成されており、かつ複数のインターデジタル電極が形成されている領域の表面波伝搬方向両側に反射器が形成されている弾性表面波共振子フィルタにおいて、前記インターデジタル電極及び反射器の表面にSiO2 膜が形成されており、該SiO2 膜の膜厚をh2 、インターデジタル電極及び反射器を形成している導電膜の膜厚をh1 、表面波の波長λとしたときに、【数1】の関係を満たすように、インターデジタル電極、反射器及びSiO2 膜の厚みが設定されていることを特徴とする、弾性表面波共振子フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/145 C
, H03H 9/25 C
