特許
J-GLOBAL ID：200903048455707038
プラズマリアクタのためのスマートリフトピンメカニズムによる静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 山田 行一
, 池田 成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-509110
公開番号（公開出願番号）：特表2008-539598
出願日： 2006年04月26日
公開日（公表日）： 2008年11月13日
要約：
加工物を処理するためのリアクタ内で用いられるリフトピンアセンブリには、リフト方向とほぼ平行に伸長する複数のリフトピンが含まれ、複数のリフトピンのそれぞれは加工物を支持するための最上端と最下端とを有する。リフトテーブルは、ピンの最下端に面し、リフト方向とほぼ平行な方向に移動する。小さい力検出器は、チャックされたウエハを示すのに十分に大きく且つウエハのチャック開放を回避するのに十分に小さいリフトピンによって加えられる力を感知する。大きい力検出器は、ウエハをチャック開放するのに十分な範囲でリフトピンによって加えられる力を感知する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加工物を処理するためのリアクタ内で用いられるリフトピンアセンブリであって、
前記リフトピンアセンブリが、
リフト方向とほぼ平行に伸長する複数のリフトピンであって、前記複数のリフトピンのそれぞれが加工物を支持するための最上端と最下端とを有する前記複数のリフトピンと、
前記ピンの該最下端に面し且つ前記リフト方向とほぼ平行な方向に移動するリフトテーブルと、
チャックされたウエハを示すのに十分に大きく且つウエハのチャック開放を回避するのに十分に小さい前記リフトピンによって加えられる力を感知するための小さい力検出器と、
該ウエハをチャック開放するのに十分な範囲で前記リフトピンによって加えられる力を感知するための大きい力検出器と、
を備えている前記リフトピンアセンブリ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
5F031CA02
, 5F031HA01
, 5F031HA05
, 5F031HA16
, 5F031HA33
, 5F031JA10
, 5F031JA45
, 5F031MA28
, 5F031MA29
, 5F031MA32
, 5F031PA20
