回折格子を有するマルチドットパタ-ンの作製方法および作製装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231639
公開番号（公開出願番号）：特開平8-095477
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】回転機構を一体化、簡略化、かつ小型化し、高速にしかも安定してパタ-ンを作製する。【構成】ビーム状のレ-ザ光を発生するレーザ光源と、レーザ光源からのビーム状のレ-ザ光を複数に分岐する光分岐手段と、回転ステージにより所望の角度で回転されることによって、光分岐手段により分岐したレ-ザ光の少なくとも一部を所望の位置に回転させる像回転要素と、像回転要素により回転されたレ-ザ光を集光して干渉縞を、X-Yステージに配設された感光材料上に生成させる結像要素と、作製しようとするマルチドットパターンの元データに基づいて、回転ステージの回転動作、およびX-Yステージの移動動作をそれぞれ制御する制御手段とを備える。

請求項（抜粋）：

平面状の基板の表面に微小な回折格子からなる回折格子要素のドットをマトリクス状に複数個配置し、当該ドットの集まりによって表現されるパターン(マルチドットパターン)を、レ-ザ光の干渉縞を用いて作製する方法において、前記マルチドットパタ-ンを露光する際に、像回転要素を所望の角度で回転させることによりレ-ザ光を所望の位置に回転させて、露光する微小な回折格子からなる回折格子要素のドット内の回折格子の方向を任意に変化させるようにしたことを特徴とする回折格子を有するマルチドットパタ-ンの作製方法。

IPC (4件)：

G03H 1/08 , G02B 5/18 , G02B 5/32 , G02F 1/13 505

引用特許：

審査官引用 (8件)

フォログラフィ回折格子パターンを形成する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-197468 出願人：アプライド・ホログラフィックス・コーポレーション
回折格子プロツター
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-231955 出願人：凸版印刷株式会社
回折格子プロツター
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-231956 出願人：凸版印刷株式会社

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