特許

J-GLOBAL ID：200903048495882053

外観検査装置および外観検査方法

発明者： 野上 良治 ,  坂本 賢志 ,  山田 和明
出願人/特許権者： 光洋精工株式会社 ,  光洋機械工業株式会社
代理人 (2件)： 稲岡 耕作 ,  川崎 実夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-106190
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233371
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】検査対象面の良否を良好に判定できる外観検査装置および外観検査方法を提供する。 【解決手段】検査対象面がCCDカメラで撮像され、このCCDカメラから出力される画像信号が、2値化されることにより2値画像データに変換される。検査対象面において、照明のむらや陰を生じている場合、CCDカメラから出力される画像信号を一定のしきい値で2値化した場合、照明光が十分に照射されていない領域A1の画素が黒画素とされ、良否判定処理で検査対象面が不良品面であると判定されるおそれがあるので、検査対象面の濃淡画像を、その領域A1と領域A1以外の領域A2とに分割して、各領域A1,A2ごとに適切な2値化しきい値を設定する。そして、各領域A1,A2に含まれる画素に対応する画像信号を、それぞれ個別に設定された2値化しきい値で2値化することにより2値画像データに変換する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

検査対象面を有する物体の外観を検査するための外観検査装置であって、 上記検査対象面を撮像し、その撮像した検査対象面に対応する画像信号を出力する撮像手段と、 この撮像手段から出力される画像信号に基づいて得られる上記検査対象面の濃淡画像を複数の領域に分割し、この複数の領域に含まれる画素に対応する画像信号を、各領域ごとに設定したしきい値でそれぞれ2値化して2値画像データに変換する変換手段と、 この変換手段による変換後の2値画像データに基づいて、上記検査対象面が良品面であるか不良品面であるかを判定する良否判定手段と を含むことを特徴とする外観検査装置。

IPC (1件)：

G01N21/88

FI (1件)：

G01N21/88 J

Fターム (7件)：

2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051ED04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体素子の欠陥検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-340576   出願人：ソニー株式会社
• 外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-100834   出願人：松下電工株式会社