特許
J-GLOBAL ID：200903048557217000
傾斜機能付き浮上ユニット及び浮上装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-126195
公開番号（公開出願番号）：特開2006-179849
出願日： 2005年04月25日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：
【課題】 エアの逃げやすい、うねったガラス基板の端部においても、確実に非接触の状態でその基板を保持できる浮上ユニット、及びそれを備えた浮上装置を得る。【解決手段】 多孔質ユニット41を設けた揺動基体31を、球面軸受けにより基台21で支持した。また、基台21と揺動基体31との間にエアを介在させ、揺動基体31及び多孔質ユニット41を球面に沿って揺動可能とした。この揺動により、エアが噴出する改良浮上ユニット12の上面12aは自由に傾斜可能となる。うねったガラス基板を載置すると、改良浮上ユニット12の上面12aは基板の傾斜に倣って傾斜した状態となる。この状態でエアを噴出させれば、基板は上面12aと平行な状態で浮上し、浮上力が基板に確実に作用する。これにより、上記課題を解決できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
加圧気体が噴出する噴出面と、
その噴出面の受動的な傾斜を自由化する揺動手段とを備え、
前記噴出面から噴出する加圧気体によって、その噴出面と非接触の状態でワークを支持する傾斜機能付き浮上ユニット。
IPC (3件)：
H01L 21/683
, G02F 1/13
, G02F 1/133
H01L21/68 N
, G02F1/13 101
, G02F1/1333 500
2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA18
, 2H088FA24
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
, 2H090JA15
, 2H090JB02
, 2H090JC02
, 2H090JC12
, 5F031CA05
, 5F031HA80
, 5F031KA02
, 5F031PA13
