特許
J-GLOBAL ID：200903097721483559

ステージの昇降装置

発明者：
山崎 大輔

山崎 大輔 について

, 
小野 裕

小野 裕 について


出願人/特許権者：
横河電機株式会社

横河電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-288069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100666
出願日： 2000年09月22日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：
【要約】【課題】 荷重に対する剛性を高めたステージの昇降装置を実現する。【解決手段】 ステージを固定部材にZ軸方向へ移動自在に支持する軸受と、ステージをZ軸方向に移動する昇降機構とを有するステージの昇降装置において、軸受は、ステージと固定部材がなす微小間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮空気によりステージをZ軸方向に移動自在に支持するエアベアリングで構成した。
請求項（抜粋）：
ステージを固定部材にZ軸方向へ移動自在に支持する軸受と、ステージをZ軸方向に移動する昇降機構とを有するステージの昇降装置において、前記軸受は、前記ステージと固定部材がなす微小間隙に圧縮空気を充満させ、この圧縮空気によりステージをZ軸方向に移動自在に支持するエアベアリングで構成したことを特徴とするステージの昇降装置。
IPC (7件)：
H01L 21/68 ,  F16C 32/06 ,  F16H 25/20 ,  F16H 25/24 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66
FI (7件)：
H01L 21/68 K ,  F16C 32/06 A ,  F16H 25/20 B ,  F16H 25/24 F ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 H
Fターム (33件)：
2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG11 ,  2G003AG12 ,  2G003AG16 ,  2G003AG20 ,  2G003AH05 ,  2G032AA00 ,  2G032AE02 ,  2G032AE04 ,  2G032AL03 ,  3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102BA12 ,  3J102CA09 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA13 ,  3J102EB03 ,  3J102GA20 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ05 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031HA58 ,  5F031KA07 ,  5F031LA02 ,  5F031LA07 ,  5F031MA33
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM