特許
J-GLOBAL ID：200903097509854059

ワークの位置修正装置及びカセットの搬送装置

発明者：
松尾 賢治

松尾 賢治 について

, 
伊藤 雅

伊藤 雅 について


出願人/特許権者：
シーケーディ株式会社

シーケーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-026847
公開番号（公開出願番号）：特開2004-241465
出願日： 2003年02月04日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】薄板状のワークの位置ズレを修正する際に、ワークに傷がつくことを防止し得るワークの位置修正装置を得る。【解決手段】支持本体2のワーク支持面4側に複数の多孔質体7を配置し、その多孔質体7から加圧空気を噴出させる。これにより、ワーク支持面4上に至るワークWは加圧気体によって非接触支持される。そして、その非接触状態を維持しながら周辺に配置された位置修正部材3によってワークの位置ズレを修正する。かかる構成によれば、ワークWの位置ズレの修正がワーク支持面4と非接触の状態で行われることから、修正時にワークWとワーク支持面4とが擦れてしまうことがない。これにより、ワークに傷がつくことを防止できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持本体によって支持された薄板状のワークの位置ズレを修正するワークの位置修正装置において、 前記支持本体のワーク支持部側に加圧気体の噴出部を設け、その噴出部から噴出される加圧気体によってワークを支持本体で非接触支持し、その非接触状態を維持しながらワークの位置ズレを修正するワークの位置修正装置。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  B65G49/07
FI (3件)：
H01L21/68 G ,  H01L21/68 A ,  B65G49/07 L
Fターム (7件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031GA62 ,  5F031KA02
引用特許：
審査官引用 (15件)
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