洗浄液吸引装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-356328
公開番号（公開出願番号）：特開2001-170578
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月26日
要約：

【要約】【課題】洗浄後の平板状の被洗浄物から残留する洗浄液を吸引除去する洗浄液吸引装置を提供する。【解決手段】被洗浄物であるガラス基板25に残留する膜状の洗浄液26は、吸引ノズル22によって吸引されて除去される。このとき、吸引ノズル22の先端部29の面積A2が、吸引孔32の面積A1の3倍以上であるので、吸引時に吸引ノズルの先端面29と、膜状の洗浄液26の上面との間の間隙が負圧となる。これによって、吸引ノズル22は、洗浄液26に非接触で、洗浄液を吸引することができる。このように、吸引ノズル22が、洗浄液26に接触しないので、吸引ノズル22が洗浄液26に含まれる汚染物によって汚染されることが防止でき、吸引ノズル22が、洗浄液およびガラス基板25の二次汚染の原因とならない。

請求項（抜粋）：

平板状の被洗浄物を洗浄液によって洗浄した後に、被洗浄物の一表面上に膜状に残留する洗浄液を吸引ノズルによって吸引して除去する洗浄液吸引装置において、前記膜状の洗浄液の上面に、前記吸引ノズルの先端面がわずかな間隙を開けて配置され、吸引ノズルから洗浄液を吸い上げて除去することを特徴とする洗浄液吸引装置。

IPC (5件)：

B08B 3/04 , F26B 3/12 , F26B 13/04 , H01L 21/027 , H01L 21/304 648

FI (5件)：

B08B 3/04 B , F26B 3/12 , F26B 13/04 , H01L 21/304 648 F , H01L 21/30 569 D

Fターム (12件)：

3B201AA02 , 3B201AB14 , 3B201BB22 , 3B201BB33 , 3B201BB77 , 3B201CB01 , 3B201CC21 , 3L113AA02 , 3L113AB10 , 3L113AC23 , 3L113BA34 , 5F046LA18

引用特許：

出願人引用 (2件)

基板端縁洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-222730 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-200657 出願人：日本電気株式会社

審査官引用 (2件)

基板端縁洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-222730 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-200657 出願人：日本電気株式会社

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