特許
J-GLOBAL ID：200903048576958801
導波路型光変調器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-277452
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118857
出願日： 1997年10月09日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 検出感度を高めて分極電荷の発生を防止し得ると共に、応力による特性変動が生じ難い小型の高性能な導波路型光変調器を提供すること。【解決手段】 この導波路型光変調器12は、干渉型の光導波路9,10と、これらの光導波路9,10の光進行方向に分割されて容量結合される複数の変調電極1と、入力電圧が印加される引き出し電極を各変調電極1のうちの基板8上の光進行方向における両端のものと一体的に形成し、その電極部が各変調電極1の延長上の光導波路9,10上に配置される変調引き出し電極2,3とを電気光学効果を有する基板8上にそれぞれ配置している。基板8の表面には各変調電極1及び変調引き出し電極2,3に接触して基板8上に生じる電荷による各変調電極1相互間の電位差を解消する導電性を有するシリコン被膜14が設けられ、各変調電極1はシリコン被膜14を通じて導通しない抵抗値を有している。
請求項（抜粋）：
干渉型の光導波路,該光導波路の近傍に形成される変調電極,及び該変調電極に接続されて入力電圧が印加される引き出し電極を電気光学効果を有する基板上にそれぞれ配置して成り、該引き出し電極に印加される該入力電圧に依存して該光導波路において入射光が強度変調して出射される導波路型光変調器であって、前記引き出し電極は、前記変調電極と一体的な変調引き出し電極として形成されたことを特徴とする導波路型光変調器。
IPC (3件)：
G01R 29/08
, G01R 15/24
, G02F 1/035
G01R 29/08 F
, G02F 1/035
, G01R 15/07 C
