特許
J-GLOBAL ID：200903048671756590
複数の超小型構造層から製作された機械構造及び製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
合田 潔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198777
公開番号（公開出願番号）：特開平9-117164
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 マイクロマシン技術で実施されるよりもかなり大きい、有用な仕事が可能な機械及び製造方法を提供する。【解決手段】 互いに積層された複数のマイクロマシン層をそれぞれ含む機械構造、ならびにその製作方法を提示する。各機械構造は、スタックを含む複数のマイクロマシン層のうちの少なくとも1つの層の超小型構造から画定された可動部材を含む。製作の際には、VLSI技術を使用してマイクロマシン層を別々に形成し、その後でスタックの形で選択された配列で互いに積層して機械構造を画定する。
請求項（抜粋）：
互いに積層された複数の層のスタック構造を含む機械であって、前記スタック構造が前記複数の層のうちの少なくとも1つの層の超小型構造から画定された可動部材を含む機械。
IPC (4件)：
H02N 1/00
, H01L 21/306
, H01L 29/84
, H01L 49/00
H02N 1/00
, H01L 29/84 Z
, H01L 49/00 Z
, H01L 21/306 Z
